THS是一款基于光學(xué)焦距檢測(cè)方法、結(jié)合兩個(gè)顯微光學(xué)系統(tǒng)(表面和底面),采用精密對(duì)焦指示器的非接觸式厚度測(cè)量系統(tǒng)。當(dāng)觀察到準(zhǔn)確的位置和圖像時(shí)，即可測(cè)量厚度，*大測(cè)量厚度為25mm。本機(jī)采用光學(xué)系統(tǒng)，操作簡(jiǎn)單，可清楚顯示準(zhǔn)確的對(duì)焦位置。
厚度測(cè)量：
測(cè)量步驟：
1.在工作臺(tái)未放置工件時(shí)，垂直移動(dòng)上對(duì)焦系統(tǒng)，待兩個(gè)顯示器上都顯示對(duì)焦準(zhǔn)確的符號(hào)后，將Z軸計(jì)數(shù)器歸零。
2.放上工件，移動(dòng)下對(duì)焦系統(tǒng)，對(duì)工件底部對(duì)焦。
3.移動(dòng)上對(duì)焦系統(tǒng)，對(duì)工件上表面對(duì)焦。上對(duì)焦系統(tǒng)移動(dòng)的距離即為工件的厚度。
技術(shù)規(guī)格：
| 型號(hào) |
測(cè)量行程 |
精度 |
| THS-10 |
X：100mm Y:100mm |
1um(0.1um 可選配) |